El fosforano es una importante fuente dopada de tipo n en la fabricación de dispositivos semiconductores, y también se utiliza en la deposición de vapor químico de polisilicio, material GaP epitaxial, proceso de implantación de iones, proceso MOCVD, preparación de película de pasivación de vidrio de silicio y fósforo (PSG) y otros procesos.
Aplicar base
Nombre químico | Fosfina | Hidrógeno |
No CAS. | 7803-51-2 | 1333-74-0 |
ONU No. | 1954 |
Palabra de advertencia: Peligro
Propiedades físicas y químicas
Estado físico: Gas.
Apariencia: Incoloro.
Olor: Repulsivo.
Umbral de olor: 0.51 ppm (PH3)
Temperatura de autoignición: 38 °C / 100 °F (Fosfina)
Fatal si se inhala
Provoca quemaduras graves en la piel y lesiones oculares.
Gas extremadamente inflamable
Se enciende espontáneamente si se expone al aire.
Contiene gas a presión; puede explotar si se calienta
Puede formar mezclas explosivas con el aire.
Los síntomas pueden retrasarse
Mantener alejado del calor,chispas,llamas abiertas,superficies calientes.
No fumar
No respirar gases.
Use y almacene solo al aire libre o en un lugar bien ventilado.
Use guantes protectores, ropa protectora, protección para los ojos, protección respiratoria y/o protección para la cara
Utilice un dispositivo de prevención de reflujo en las tuberías
Use equipo purgado con gas inerte o evacuado antes de la descarga del cilindro
Úselo solo con equipos de materiales de construcción compatibles y clasificados para la presión del cilindro
No abra la válvula hasta que esté conectado a un equipo preparado para su uso
Cierre la válvula después de cada uso y cuando esté vacía
Al devolver el cilindro, instale la tapa o el tapón de salida de la válvula a prueba de fugas.
Proteger de la luz solar cuando la temperatura ambiente supere los 52 °C/125 °F
Almacene en un área fresca, seca y bien ventilada de construcción no combustible lejos de
áreas transitadas y salidas de emergencia.
Mantener a temperaturas inferiores a 52°C / 125°F.
Los cilindros deben almacenarse en posición vertical con la tapa de protección de la válvula en su lugar y firmemente asegurados para evitar que se caigan.
Los cilindros llenos y vacíos deben separarse.
Utilice un sistema de inventario de "primero en entrar, primero en salir" para evitar que los cilindros llenos se almacenen durante períodos de tiempo excesivos.
Los contenedores almacenados deben revisarse periódicamente para verificar su estado general y fugas.
Se prefiere el almacenamiento externo o separado.
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