La fórmula química del trifluoruro de nitrógeno es NF₃. Es un gas incoloro, inodoro y estable a temperatura normal. Es un oxidante fuerte. El trifluoruro de nitrógeno de alta pureza tiene una excelente tasa de grabado y selectividad, y también es un muy buen agente de limpieza. Jinhong puede proporcionarle gas trifluoruro de nitrógeno de alta pureza para mejorar su proceso de semiconductores.
Nitrógeno El trifluoruro se prepara por fluoración directa de amoníaco. También puede obtenerse por electrólisis de bifluoruro de amonio fundido o por combinación directa de los elementos nitrógeno y flúor mediante descarga eléctrica a bajas temperaturas.
| Parrilla de gas | Trifluoruro de nitrógeno |
| No CAS. | 7783-54-2 |
| Pureza | 99.999% |
El trifluoruro de nitrógeno se utiliza como grabador selectivo de alta velocidad en el procesamiento de silicio. Se ha utilizado para grabar silicio, polisilicio, nitruro de silicio y óxido de silicio, así como metales refractarios y siliciuros.
El trifluoruro de nitrógeno se utiliza a veces como fuente de flúor en los láseres químicos HF/DF. El trifluoruro de nitrógeno se utiliza como agente de fluoración. El trifluoruro de nitrógeno también se utiliza para el tratamiento de fibras.
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