El hexafluoroetano es un gas incoloro e inflamable que es insoluble en agua pero soluble en etanol. Su punto de ebullición es de -78.2 °C, el punto de fusión es de -100.6 °C y su temperatura crítica es de 19.7 °C. El hexafluoroetano se usa generalmente para el gas de grabado con plasma en la industria de la microelectrónica, así como para la limpieza de superficies de dispositivos, la producción de fibra óptica y la refrigeración a baja temperatura.
El hexafluoroetano se utiliza para el grabado en seco de dióxido de silicio y para la eliminación de fotoprotectores.
El hexafluoroetano se usa como refrigerante en ciertas aplicaciones de baja temperatura y como componente en algunas mezclas de refrigerantes.
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