El octafluorociclobutano tiene propiedades químicas estables, no tóxico e inofensivo, valor de potencial de calentamiento global (GWP) bajo y valor de índice de agotamiento de ozono (ODP) cero. Es un gas especial verde y respetuoso con el medio ambiente. Debido a estas buenas propiedades, el octafluorociclobutano se ha utilizado ampliamente en campos técnicos como el aislamiento de alto voltaje, la limpieza y el grabado y el tratamiento con plasma en los últimos años.
Octafluorociclobutano puede producirse por dimerización de tetrafluoroetileno mediante pirólisis, enfriamiento rápido, filtración, compresión, etc.; El octafluorociclobutano también se puede obtener por electrólisis de tetrafluorociclobutano en anhidro hidrógeno fluoruro. Poner en contacto octafluorociclobutano crudo que contiene impurezas con un agente de descomposición de impurezas a alta temperatura y luego poner en contacto un adsorbente puede eliminar sustancialmente impurezas tales como fluorocarbonos y obtener octafluorociclobutano de alta pureza.
| Parrilla de gas | Octafluorociclobutano |
| No CAS. | 115-25-3 |
| Pureza | ≥ 99.9% |
El octafluorociclobutano también se usa ampliamente en superficies de grabado de semiconductores. Como gas de grabado de plasma de fluorocarbono de alto nivel, se puede usar en combinación con fluorocarbonos de bajo nivel como monofluorometano y difluorometano, que pueden mejorar en gran medida el efecto de grabado.
El octafluorociclobutano tiene un valor de GWP bajo (8900, solo el 37% de SF6), y los productos de descomposición bajo la acción de los arcos son los fluorocarbonos, que son sustancias no tóxicas o de baja toxicidad, y tienen una cierta capacidad de extinción del arco aislante.
De acuerdo con las propiedades químicas del octafluorociclobutano, también se puede utilizar como materia prima principal para otros productos químicos.
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